DM8000/ DM12000

Микроскоп Leica DM8000 / DM12000 предназначен для исследований в области микроэлектроники, в том числе кремниевых пластин. Доступна версия для использования в чистой комнате. Интегрированный светодиодный осветитель с ультрафиолетовым источником света в полтора раза повышает разрешающую способность микроскопа по сравнению с обычным белым светом. Большой ход моторизованного сканирующего столика обеспечивает размещение образцов диаметром до 300 мм. Дополнительный режим косого освещения позволяет более детально изучить топографию вашего образца. Встроенный в предметный столик источник ближнего инфракрасного освещения обеспечивает проведение исследований дефектов внутри кремниевой пластины.

Возможность работы в ультрафиолетовом и инфракрасном диапазонах длин волн

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Увеличение: от 7 крат до 1500 крат;

Методы контрастирования: светлое поле, темное поле, поляризация, дифференциально-интерференционный контраст, косое освещение, ультрафиолетовое освещение, инфракрасное освещение;

Ход предметного столика по XY: 202х202 мм или 302х302 мм c точностью до 5 мкм;

Ход фокусировки по Z: 35 мм;

Источники освещения: Светодиодные белый (530 нм) и ультрафиолетовый (365 нм);

Моторизованный компоненты: турель методов контрастирования, турель объективов, привод фокусировки, предметный столик.