Версия для печати

LEICA EM ACE200

Прибор для напыления плёнок в вакууме

Leica EM ACE200 — это компактный настольный прибор, предназначенный для нанесения на поверхность образца тонкого токопроводящего слоя. Он позволяет выполнять высококачественную пробоподготовку к просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии. Широко применяется в биологии, медицине, энергетике, а также при исследовании полезных ископаемых и других природных ресурсов.

Принцип работы системы Leica EM ACE200

Задача системы Leica EM ACE200 заключается в обеспечении видимости компонентов и структуры образца при изучении посредством электронного микроскопа. Достигается она путём оттенения поверхности токопроводящим материалом. Этот процесс является нанесением на объект в условиях низкого вакуума (до 7 × 10⁻³ mbar) тонкой и в то же время достаточно прочной плёнки, которая характеризуется прозрачностью и химической устойчивостью, способствует улучшению электронного сигнала, точно воспроизводит особенности микрорельефа основы и отделяется от неё без разрушения.

При использовании Leica EM ACE200 напыление токопроводящего слоя осуществляется по технологии набрызгивания на поверхность образца одного из драгоценных металлов — золота, палладия, серебра или платины. Рабочим материалом могут служить и недрагоценные металлы — медь и никель. Если же EDX- или WDX-спектроскопия предполагает проведение X-rayмикроанализа или ТЕМ-исследование требует применения усиленных плёнок на покрытых коллодием либо формваром сетках, то напыление осуществляется методом испарения углеродной (графитовой) нити.

Особенности функционала и преимущества модели Leica EM ACE200

Система Leica EM ACE200 даёт возможность наносить аккуратно осаждённые с соответствующими заданным границами токопроводящие слои толщиной до 40 нм. Такой результат достигается благодаря сочетанию импульсного режима работы прибора с функцией «Кварцевое измерение» и регулировкой давления аргона и тока. Данный комплекс обеспечивает постоянное отслеживание параметров плёнки в процессе её образования и позволяет осуществлять контроль напыления в целом, а другие опции эффективно дополняют функционал оборудования:

· «Планетарное вращение» — играет главную роль в образовании нужного наклона предметного столика и, следовательно, в оптимальном позиционировании готовящегося к изучению объекта. Способствует равномерному распределению напыляемого материала, что особо важно при обработке трещиноватых поверхностей;

· «Тлеющий разряд» — позволяет изготавливать гидрофильные сетки для просвечивающего электронного микроскопа (ТЭМ);

· «Сменное экранирование» — делает чистку камеры более простой и удобной.

Благодаря оснащению системы Leica EM ACE200 высокопроизводительным лопастным насосом с масляным фильтром, значительно сокращается продолжительность циклов работы. Результаты получаются максимально точными, поскольку все процессы автоматизированы. Посредством интуитивно понятного программного обеспечения управлять последними достаточно удобно и легко.

К достоинствам модели Leica EM ACE200 принадлежит и то, что она может быть сконфигурирована как распылитель, как испаритель или как комбинированная система со сменными головками, работающая с применением разных методов. Такая вариативность позволяет сделать выбор, наиболее соответствующий конкретным потребностям.