Версия для печати

LEICA EM TIC 3X

Приборы Leica EM TIC3x — это автоматизированные системы ионно-лучевого травления, предназначенные для получения поперечных сечений с плоскими поверхностями высокого качества. Используются при подготовке образцов к сканирующей электронной (SEM) и атомно-силовой (AFM) микроскопии, а также к микроструктурным анализам разных видов — EDS, WDS, Auger и EBSD.

Конструктивные особенности Leica EM TIC3x

Система ионного травления Leica EM TIC3x является логическим продолжением модели Leica EM TXP. Она используется при завершении пробоподготовки, начатой с помощью второго устройства, и позволяет довести поверхность образца до идеального для исследований состояния. В обеспечении такой эффективности работы главную роль играют:

• 3 Ar-ионные пушки, расположенные в одном узле. Дают возможность проводить травление одновременно с трёх направлений. Настраиваются и переключаются независимо друг от друга, расширяя тем самым круг выполняемых задач;

• держатель образцов. Позволяет фиксировать и обрабатывать образцы размерами до 50 × 50 × 10 мм;

• встроенный стереомикроскоп или HD-телевизионная камера и сегментный кольцевой светодиод либо коаксиальная светодиодная подсветка. Обеспечивают условия для непрерывного и комфортного наблюдения за процессом травления. Для повышения качества обзора присутствует функция усиления контрастности изображения;

• столик, перемещающийся в трёх направлениях. Используется при необходимости охладить держатель образца и маску до − 150 °C.

Управление системой Leica EM TIC3x ведётся посредством сенсорной панели. Требующиеся программы загружаются на USB-накопитель.

Преимущества модели Leica EM TIC3x

Система Leica EM TIC3x, используя в работе принцип одновременного поперечного травления с трёх направлений, обеспечивает высокое качество поверхности образца и хорошую повторяемость результатов. При этом она обладает рядом других достоинств:

• превосходит обычные наклонные режущие инструменты по функционалу. С её помощью можно резать образцы, фрезеровать, делать поперечные сечения с гладкими поверхностями и приводить обработанную область к параметрам 4 × 1 мм, причём делать всё это в разных режимах. Стандартный режим пользуется популярностью при повышении контрастности поверхностей в рутинной пробоподготовке. Ускоренный применяется для увеличения производительности прибора. Крио-режим незаменим при обработке образцов из резины, водорстворимых полимерных волокон или других материалов, требующих предварительного охлаждения;

• подходит для обработки практически любых материалов — пористых, мягких, термочувствительных, хрупких, гетерогенных — и даёт возможность выявлять их внутренние структуры с минимальными рисками образования деформаций или повреждений;

• удовлетворяет потребности лабораторий с высокой пропускной способностью, поскольку выполняет травление одновременно с трёх направлений, развивает скорость фрезерования до 150 мкм/ч и обладает возможностью обрабатывать за один цикл несколько образцов;

• отличается гибкостью настроек, позволяющей выполнять регулировку положения образца в пределах ± 2 мкм и определять его элементы размером около 3 мкм;

• характеризуется удобством в эксплуатации. Расщепленная конструкция избавляет прибор от вибраций, возникающих в процессе работы чернового насоса, и в сочетании с эргономичным дизайном позволяет вести наблюдение в комфортных условиях. Интуитивно понятное меню на сенсорной панели упрощает участь оператора.